Подробное описание документа

Ушков А. В., Исакова Г. А., Рябов В. Т.
   Разработка методики компенсации выпуклых углов при формировании мембраны чувствительного элемента давления с жестким центром в водном растворе КОН / Ушков А. В., Исакова Г. А., Рябов В. Т. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. - С. 55-58.

УДК

531.787 Измерение давлений. Манометры. Барометры. Месдозы

Авторы МГТУ

• Ушков Александр Викторович
• Рябов Владимир Тимофеевич

Статья опубликована в следующих изданиях