Ушков Александр Викторович
Статьи
Статья
Ушков А. В., Исакова Г. А., Рябов В. Т.
Разработка методики компенсации выпуклых углов при формировании мембраны чувствительного элемента давления с жестким центром в водном растворе КОН / Ушков А. В., Исакова Г. А., Рябов В. Т. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. -С. 55-58 .
Разработка методики компенсации выпуклых углов при формировании мембраны чувствительного элемента давления с жестким центром в водном растворе КОН / Ушков А. В., Исакова Г. А., Рябов В. Т. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 6. -
Диссертации
Диссертация
Ушков А. В.
Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : дис... ктн : 05. 27. 06 / Ушков А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2008. - 161 л. - Библиогр.:л. 149-160 .
Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : дис... ктн : 05. 27. 06 / Ушков А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2008. - 161 л. - Библиогр.:
Авторефераты
Автореферат диссертации
Ушков А. В.
Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Ушков А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2008. - 16 с.
Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Ушков А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2008. - 16 с.