Подробное описание документа

   Конструктивно-технологический базис многовариантного производства интегральных полупроводниковых тензопреобразователей / Амеличев В. В., Данилова Н. Л., Панков В. В., Тарасов В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 3. - С. 2-4.

УДК

681.586 Преобразователи в датчики (в системах регулирования)

Статья опубликована в следующих изданиях