Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 3. - 2007.

1 экз.

Содержание

с. 2-4
   Статья
   Конструктивно-технологический базис многовариантного производства интегральных полупроводниковых тензопреобразователей / Амеличев В. В., Данилова Н. Л., Панков В. В., Тарасов В. А.
с. 4-10
   Статья
Золотов Ю. Н., Тимошенков С. П., Шелепин Н. А.
   Применение комплексных методов проектирования в процессе разработки интегральных преобразователей механических величин / Золотов Ю. Н., Тимошенков С. П., Шелепин Н. А.
с. 11-14
   Статья
   Визуализация привнесенных неоднородностей магнитного поля Земли / Амеличев В. В., Галушков А. И., Резнев А. А., Сауров А. Н., Суханов В. С.
с. 14-17
   Статья
   Конструктивно-технологическая оптимизация интегральных преобразователей физических величин / Амеличев В. В., Погалов А. И., Павлов А. Ю., Чаплыгин Ю. А.
с. 17-22
   Статья
   Некоторые результаты освоения и совершенствования производства кристаллов кремниевых интегральных тензопреобразователей / Дягилев В. В., Михайлов Ю. А., Игнатьева Е. В., Шешукова С. Ю.
с. 22-26
   Статья
   Микроэлектронная магниторезисторная технология / Амеличев В. В., Галушков А. И., Дягилев В. В., Касаткин С. И.
с. 27-36
   Статья
Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В.
   МЭМС-микрофон. Выбор материалов, конструкций и технологии. II. Влияние полости под диафрагмой на характеристики микрофона / Амеличев В. В., Вернер В. Д., Ильков А. В.
с. 36-39
   Статья
Коноплёв Б. Г., Приступчик Н. К., Рындин Е. А.
   Автоэмиссионный акселерометр с тремя осями чувствительности / Коноплёв Б. Г., Приступчик Н. К., Рындин Е. А.
с. 40-52
   Статья
Рощупкин Д. В., Иржак Д. В.
   Электронно-микроскопические и рентгеновские методы исследования акустических волновых полей в пьезоэлектрических кристаллах / Рощупкин Д. В., Иржак Д. В.
с. 52-57
   Статья
Глухова О. Е.
   Функциональные наноустройства на основе наночастицы С60@С450 / Глухова О. Е.
с. 57-70
   Статья
Абрамов И. И.
   Проблемы и принципы физики и моделирования приборных структур микро-и наноэлектроники. V. Резонансно-туннельные структуры / Абрамов И. И.
с. 71-73
   Статья
Крутов В. В., Михалевич В. Г., Щука А. А.
   Создание нанодоменных периодических структур в сегнетоэлектриках на интерферирующих оптических волнах / Крутов В. В., Михалевич В. Г., Щука А. А.