Подробное описание документа

   Конструктивно-технологическая оптимизация интегральных преобразователей физических величин / Амеличев В. В., Погалов А. И., Павлов А. Ю., Чаплыгин Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 3. - С. 14-17.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях