Подробное описание документа

   Некоторые результаты освоения и совершенствования производства кристаллов кремниевых интегральных тензопреобразователей / Дягилев В. В., Михайлов Ю. А., Игнатьева Е. В., Шешукова С. Ю. // Нано- и микросистемная техника. - 2007. - № 3. - С. 17-22.

УДК

53.087.92 Преобразователи измеряемых величин. Измерительные датчики

Статья опубликована в следующих изданиях