Скачать документ
Полнотекстовый документ
Ушков А. В.
Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Ушков А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2008. - 16 с.
681.586.72 Полупроводниковые датчики2 экз.