Подробное описание документа

Ушков А. В.
   Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам : дис... ктн : 05. 27. 06 / Ушков А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2008. - 161 л. - Библиогр.: л. 149-160.

УДК

681.586.72 Полупроводниковые датчики

Предметные рубрики

• Датчики давления - Диссертации

Авторы МГТУ

• Ушков Александр Викторович

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л