Подробное описание документа

Цветков Ю. Б.
Управление топологической точностью фотолитографии : учеб. пособие по курсу "Элионные технологии" / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005. - 174 с. : ил. - Библиогр.: с. 170-172.

Читать онлайн

Скачать документ

Полнотекстовый документ

Аннотация

Рассмотрены основные этапы фотолитографии, а также проблемы управления топологической точностью фотолитографии. Изложены основы теории формирования микроизображений. Рассмотрены физико-химические процессы в позитивном фоторезисте при экспонировании и проявлении.
Для студентов, изучающих курс "Элионные технологии".

УДК
621.3.049.75 Печатные схемы

Предметные рубрики

Фотолитография - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

Цветков Юрий Борисович

Общее кол-во в фондах
8 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345