Подробное описание документа

Цветков Ю. Б.
   Управление топологической точностью фотолитографии : учеб. пособие по курсу "Элионные технологии" / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005. - 174 с. : ил. - Библиогр.: с. 170-172.

Читать онлайн Аннотация

Рассмотрены основные этапы фотолитографии, а также проблемы управления топологической точностью фотолитографии. Изложены основы теории формирования микроизображений. Рассмотрены физико-химические процессы в позитивном фоторезисте при экспонировании и проявлении.
Для студентов, изучающих курс "Элионные технологии".

УДК

621.3.049.75 Печатные схемы

Предметные рубрики

• Фотолитография - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович

Общее кол-во в фондах

8 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
5. Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345