Подробное описание документа
Статья
Панфилов Ю. В.
Инженерные решения использования наноструктурированных материалов в высокотехнологичных областях промышленности(обзор материалов XII Международной научно-технической конференции"Высокие технологии в промышленности России" и XX Международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике") / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2007. - № 12. -
6 Прикладные науки. Медицина. Технология