Панфилов Юрий Васильевич

Беликов А. И., Колесник Л. Л., Панфилов Ю. В.
   Опыт организации инженерного практикума студентов: от инициативной научно-исследовательской работы к серийному производству / Беликов А. И., Колесник Л. Л., Панфилов Ю. В. // Практико-ориентированное научно-техническое творчество молодёжи и его роль в подготовке инженеров мирового уровня : материалы 1-ой Всероссийской конференции, Москва, 17 февраля 2023 года / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М., 2023. - С. 29-36.

Панфилов Ю. В.
   Импульсные методы нанесения упрочняющих нанокристаллических углеродных покрытий / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2021. - Т. 17, № 2. - С. 93-96.

Панфилов Ю. В., Колесник Л. Л.
   Привносимая дефектность при формировании наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В., Колесник Л. Л. // Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М., 2021. - С. 54-60.

Посашков Е. В., Панфилов Ю. В.
   Развитие конструкций кремниевых оптических модуляторов / Посашков Е. В., Панфилов Ю. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 14-я, Москва, 21-24 сентября 2021 г. : cборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2021. - Т. 1. - С. 271-274.

Цветков Ю. Б., Панфилов Ю. В.
   Современная контактная фотолитография - ключевой процесс микроэлектронного приборостроения / Цветков Ю. Б., Панфилов Ю. В. // Приборы. - 2020. - № 1. - С. 46-54.

   Приборные применения плазмонных эффектов / Бабурин А. С., Панфилов Ю. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. // Приборы. - 2020. - № 5. - С. 45-48.

Каракулов Р. А., Панфилов Ю. В., Ильин Н. В.
   Повышение адгезионной прочности металлизации диэлектриков перед пайкой с арматурой СВЧ-приборов / Каракулов Р. А., Панфилов Ю. В., Ильин Н. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2018. - Т. 14, № 8. - С. 379-381.

Панфилов Ю. В.
   Упрочняющие технологии в истории МГТУ им. Н. Э. Баумана / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2018. - Т. 14, № 11. - С. 483-488.

Панфилов Ю. В.
   Выбор метода и режимов нанесения тонкой пленки с заданной структурой с помощью виртуального эксперимента / Панфилов Ю. В. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век. - 2017. - Т. 9, № 3. - С. 18-23.

Панфилов Ю. В.
   Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. - С. 523-527.

Литвак Ю. Н., Панфилов Ю. В.
   Применение упрочняющих покрытий для повышения точности микроразмерного сверления печатных плат / Литвак Ю. Н., Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2016. - № 1. - С. 3-7.

Панфилов Ю. В.
   Новые разделы в классификации методов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2016. - № 5. - С. 6-15.

   Применение ионно-плазменных методов для формирования гладких оптических поверхностей / Панфилов Ю. В., Нестеров С. Б., Симакин С. Б., Яковлев М. Э. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2016. - № 10. - С. 15-18.

   Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для применения в наноплазмонике / Бабурин А. С., Габидуллин А. Р., Зверев А. В., Родионов И. А., Рыжиков И. А., Панфилов Ю. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2016. - № 6. - С. 4-14.

Панфилов Ю. В.
   Выбор метода нанесения наноструктурированных тонкоплёночных покрытий по критерию "энергомассоперенос" / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2015. - № 12. - С. 3-10.

Панфилов Ю. В.
   Воспоминания о Леониде Ивановиче Волчкевиче / Панфилов Ю. В. // Производительность и надёжность технологических систем в машиностроении : сборник научных трудов Международной научно-технической конференции, посвящённой 85-летию со дня рождения Волчкевича Л. И., Москва, 20-23 мая 2015 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Международный союз машиностроителей ; науч. ред. Прейс В. В., Волчкевич И. Л. - М. ; Тула, 2015. - С. 5-10.

Панфилов Ю. В.
   Анализ вакуумного технологического оборудования по критерию производительности / Панфилов Ю. В. // Производительность и надёжность технологических систем в машиностроении : сборник научных трудов Международной научно-технической конференции, посвящённой 85-летию со дня рождения Волчкевича Л. И., Москва, 20-23 мая 2015 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Международный союз машиностроителей ; науч. ред. Прейс В. В., Волчкевич И. Л. - М. ; Тула, 2015. - С. 48-53.

Панфилов Ю. В.
   Новые методы в классификации процессов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2015. - С. 122-127.

Панфилов Ю. В.
   Вакуумные технологии и нанотехнологии ( аналитический обзор материалов ХХ юбилейной научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника», сентябрь, Крым, Гаспра) / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2014. - № 3. - С. 43-48.

Панфилов Ю. В.
   Инженерные нанотехнологии в области вакуумной техники / Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 119-121.

Булыгина М. В., Панфилов Ю. В.
   Измерение механических и геометрических характеристик тонкопленочных покрытий / Булыгина М. В., Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 156-159.

Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
   Вакуумное технологическое оборудование заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 228-232.

Горбунов А. В., Соловьев А. А., Панфилов Ю. В.
   Пароструйное нанесение тонких пленок в вакууме / Горбунов А. В., Соловьев А. А., Панфилов Ю. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 262-264.

   Лабораторная база наноинженерии на кафедре "Электронные технологии в машиностроении" МГТУ им. Н. Э. Баумана / Беликов А. И., Колесник К. М., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В., Сидорова С. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 302-314.

Булыгина М. В., Панфилов Ю. В.
   Измерение геометрических характеристик поверхностей на приборах компании "Nanosurf" / Булыгина М. В., Панфилов Ю. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 347-349.

Панфилов Ю. В.
   Воспоминания о Л. И. Волчкевиче / Панфилов Ю. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 401-409.

Коробова Н. В., Беликов А. И., Панфилов Ю. В.
   Методы нанесения и эффективность применения тонкопленочных самосмазывающих износостойких покрытий деталей машин и инструмента / Коробова Н. В., Беликов А. И., Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2013. - № 1. - С. 23-28.

Панфилов Ю. В.
   Наностpуктуpиpованные матеpиалы в наноинженеpии (аналитический обзоp матеpиалов XI Междунаpодной научно-технической конфеpенции "Nanostructured Materials", август 2012 г., Гpеция, о. Pодос) / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 4. - С. 46.

Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
   Выбор типа вакуумного нанотехнологического оборудования по критерию заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 11. - С. 7-18.

Панфилов Ю. В.
   Модификация и измерение характеристик поверхности. Получение многокомпонентных покрытий (аналитический обзор материалов 13-й Международной научно-технической конференции «Инженерия поверхности и реновация изделий», июнь 2013 г., Крым, г. Ялта) / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2013. - № 11. - С. 3-7.

Литвак Ю. Н., Панфилов Ю. В.
   Исследование процесса сверления микроразмерных отверстий печатных плат / Литвак Ю. Н., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 5. - С. 3-7.

Панфилов Ю. В.
   Анализ тенденций развития промышленного оборудования для формирования тонкопленочных наноструктур в вакууме / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. - С. 15-20.

Башков В. М., Кожина Т. Д., Панфилов Ю. В.
   Переподготовка специалистов в области термобарьерных наноструктурированных покрытий / Башков В. М., Кожина Т. Д., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2013. - № 6. - С. 36-40.

   Вакуумная установка настольного типа для обучения студентов и проведения научных исследований / Панфилов Ю. В., Колесник Л. Л., Моисеев К. М., Сидорова С. В., Евлампьев А. Н. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 2. - С. 119-122.

Моисеев К. М., Янович С. В., Панфилов Ю. В.
   Модификация поверхности синтетической опаловой матрицы вакуумными методами / Моисеев К. М., Янович С. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 1. - С. 4-7.

   Интерактивный учебно-научный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий / Панфилов Ю. В., Сидорова С. В., Колесник Л. Л., Рябов В. Т., Моисеев К. М. // Наноинженерия. - 2012. - № 3. - С. 31-37.

   Научная работа студентов в лаборатории ионно-плазменных процессов и нанотехнологии / Панфилов Ю. В., Волчкевич Л. И., Булыгина Е. В., Сидорова С. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 2. - С. 44-48.

   Сцинтилляционные свойства наноструктурных материалов для композиционных детекторов ионизирующих излучений / Панфилов Ю. В., Астахов М. В., Селезнев В. В., Михалев П. А., Литвак Ю. Н., Макеев М. О. // Наноинженерия. - 2012. - № 1. - С. 10-15.

Панфилов Ю. В.
   Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть I. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 4. - С. 14-27.

Панфилов Ю. В.
   Электронные, ионные и плазменные технологии. Часть II. Конспект лекций / Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 6. - С. 20-27.

Сидорова С. В., Панфилов Ю. В.
   Контроль роста островковых наноструктур в вакууме / Сидорова С. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 9. - С. 8-11.

   Перспективы создания средств восприятия и преобразования на основе фотонных кристаллов / Беседина К. Н., Власов А. И., Токарев С. В., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В., Шахнов В. А. // Датчики и системы. - 2011. - № 7. - С. 69-77.

Панфилов Ю. В.
   Вакуумные технологии в производстве наноструктурированных материалов / Панфилов Ю. В. // Вакуумная техника и технология. - 2011. - Т. 21, № 2. - С. 74-75.

   Формирование наноразмерных пленок титана на кремнии / Беляева А. О., Сидорова С. В., Миронов Ю. М., Панфилов Ю. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № спецвыпуск. - С. 169-177.

Панфилов Ю. В.
   Состояние исследований и разработок в области нанотехнологий в Северной Европе (аналитический обзор) / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. - С. 2-4.

Панфилов Ю. В.
   Практические результаты использования наноструктурированных материалов / Панфилов Ю. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 3. - С. 13-18.

   Исследование автоэмиссионных свойств углеродных нанотрубок на опаловых матрицах / Моисеев К. М., Норман Е. Д., Булыгина Е. В., Панфилов Ю. В., Петрухин Г. Н., Красулин Г. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 6. - С. 10-13.

Панфилов Ю. В., Цветков Ю. Б.
   Современное методическое обеспечение для подготовки инженеров в области микро- и нанотехнологий / Панфилов Ю. В., Цветков Ю. Б. // Интеграция образования, науки и производства : материалы секционных заседаний Междунар. конф. IX Междунар. форума "Высокие технологии XXI века", 23 апреля 2008 г. / авт. -сост. Балтян В. К. ; ред. Федоров И. Б., Тихонов А. Н. ; Российский Фонд развития высоких технологий, Ассоциация техн. ун-тов, МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2008. - С. 135-136.

Панфилов Ю. В., Булыгина Е. В.
   Нанокомпозиты на основе опаловых матриц / Панфилов Ю. В., Булыгина Е. В. // Высокие технологии XXI века : материалы конф. IX международного форума , Москва, 22-25 апреля 2008 г. - М., 2008. - С. 64-65.

Панфилов Ю. В.
   Нанотехнология в инженерии поверхности / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2007. - № 1. - С. 14-24.

Панфилов Ю. В.
   Инженерные решения использования наноструктурированных материалов в высокотехнологичных областях промышленности(обзор материалов XII Международной научно-технической конференции"Высокие технологии в промышленности России" и XX Международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике") / Панфилов Ю. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2007. - № 12. - С. 2-8.

Панфилов Ю. В., Колесник Л. Л.
   Устройство измерения оптических характеристик теплоотражающих покрытий / Панфилов Ю. В., Колесник Л. Л. // Состояние и проблемы технических измерений : Всерос. науч.-техн. конф. (5; 1998; М.). Тезисы докладов / Рос. метролог. акад., Моск. науч.-техн. о-во приб. и метр. - М., 1998. - С. 196-197.

Булыгина Е. В., Панфилов Ю. В.
   Устройство имитации и контроля износа поверхностей / Булыгина Е. В., Панфилов Ю. В. // Состояние и проблемы технических измерений : Всерос. науч.-техн. конф. (5; 1998; М.). Тезисы докладов / Рос. метролог. акад., Моск. науч.-техн. о-во приб. и метр. - М., 1998. - С. 361-362.

Панфилов Ю. В.
   Перспективы создания вакуумных автоматических линий / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации производства изделий электронной техники / ред. Волчкевич Л. И. ; МВТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1987. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 488). - С. 23-32.

Панфилов Ю. В.
   Анализ газовыделения эластомерных безмасляных вводов вращения в вакуум / Панфилов Ю. В. // Проблемы автоматизации и надёжности оборудования в электронной технике : сборник статей / ред. Камышный Н. И. ; МВТУ имени Н. Э. Баумана. - М., 1980. - (Труды / МВТУ им. Н. Э. Баумана ; № 334). - С. 111-118.

   Индивидуальный лабораторный практикум : учебно-методическое пособие / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023.
   Ч. 1 : Литературный обзор / Беликов А. И., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В. [и др.] ; ред. Панфилов Ю. В. - 2023. - 61 с. - Библиогр.: с. 55. - ISBN 978-5-7038-6150-9.

Михайлов В. П., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В.
   Высоковакуумные технологические процессы в приборостроении : учебное пособие / Михайлов В. П., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023. - 213 с. : ил. - (Библиотека "Приборостроение" ; т. 2). - ISBN 978-5-7038-6098-4. - ISBN 978-5-7038-6155-4.

Панфилов Ю. В.
   Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 89. - ISBN 978-5-7038-5350-4.

   Наукоемкие технологии в машиностроении : [монография] / Суслов А. Г., Базров Б. М., Безъязычный В. Ф. [и др.] ; ред. Суслов А. Г. - М. : Машиностроение, 2012. - 527 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-94275-619-2.

Власов А. И., Елсуков К. А., Панфилов Ю. В.
   Методы микроскопии : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Власов А. И., Елсуков К. А., Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 278 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 1). - Библиогр.: с. 272-275. - ISBN 978-5-7038-3492-3.

Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П.
   Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Моисеев К. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 191 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3). - Библиогр.: с. 167. - ISBN 978-5-7038-3494-7.

Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
   Физико-механические компоненты наносистем : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.: с. 178-179. - ISBN 978-5-7038-3499-2.

Панфилов Ю. В.
   Элионные процессы и нанотехнологии : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 127 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 10). - Библиогр.: с. 125. - ISBN 978-5-7038-3501-2.

   Физические основы микро- и нанотехнологий [Электронный ресурс] : учебное пособие / Бычков С. П., Михайлов В. П., Панфилов Ю. В., Цветков Ю. Б. ; ред. Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 174 с. : ил. - Библиогр.: с. 172-173. - ISBN 978-5-7038-3319-3.

   Вакуумная техника : справочник / Демихов К. Е., Панфилов Ю. В., Никулин Н. К. [и др.] ; общ. ред. Демихов К. Е., Панфилов Ю. В. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Машиностроение, 2009. - 589 с. : ил. - Библиогр.: с. 579-581. - ISBN 978-5-94275-436-5.

   Специальность "Электронное машиностроение" в МВТУ им. Н. Э. Баумана и России / Блохин В. Г., Борисов В. П., Волчкевич Л. И. [и др.] ; науч. ред. Панфилов Ю. В. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 141 с. : фот. - Библиогр.: с. 19-23. - Посвящается 70-летию специальности и 35-летию кафедры.

   Инженерия поверхности деталей / Суслов А. Г., Безъязычный В. Ф., Панфилов Ю. В. [и др.] ; ред. Суслов А. Г. - М. : Машиностроение, 2008. - 318 с. : ил. - Библиогр.: с. 312-318. - ISBN 978-5-217-03427-7.

   Механика и физика точных вакуумных механизмов : монография : в 2 т. - Владимир : Владимирский гос. ун-т, 2001.
   Т. 2 / Александрова А. Т., Вагин Н. С., Василенко Н. В. [и др.] ; ред. Деулин Е. А. - 2002. - 150 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-93264-043-X.

   Конспект лекций по курсу "Введение в специальность" для студентов специальности "Электронное машиностроение" / Беликов А. И., Волчкевич Л. И., Замчалов Ю. П. [и др.] ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. Каф. МТ-11. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 60 с. : ил.

   Машиностроение : энциклопедия : в 40 т. / РАН ; гл. ред. Фролов К. В. - М. : Машиностроение, 1994. - ISBN 5-217-01949-2.
   Разд. III : Технология производства машин, т. III-8 : Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении / Панфилов Ю. В., Ковалев Л. К., Блохин В. Г. [и др.] ; отв. ред. Белянин П. Н. ; ред. пер., авт. вступ. ст. и коммент. Панфилов Ю. В. ; ред. тома Мартынов В. В., Панфилов Ю. В., Валеев А. С. [и др.]. - 2000. - 743 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-217-02825-4.

Панфилов Ю. В., Рябов В. Т., Цветков Ю. Б.
   Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы : учебник для техникумов / Панфилов Ю. В., Рябов В. Т., Цветков Ю. Б. - М. : Радио и связь, 1988. - 320 с. - 3200 р.

Камышный Н. И., Деулин Е. А., Панфилов Ю. В.
   Методические указания к лабораторным работам по курсу "Кинематика станков и машин" / Камышный Н. И., Деулин Е. А., Панфилов Ю. В. ; ред. Камышный Н. И. ; МВТУ им Н. Э. Баумана. - М., 1983. - 16 с. - Библиогр.: с. 16.

   Технология производства электровакуумных приборов: термовакуумная обработка. Экспериментальное сопровождение технологического процесса : учебное пособие / Бычков С. П., Ли И. П., Петров В. С. [и др.] ; ред. Ли И. П., Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022. - 119 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 114-117. - ISBN 978-5-7038-5823-3.

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 329 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7038-4242-3.

   Разработка вакуумных технологических методов формирования сверхтвердых нанокомпозитных материалов и исследование их свойств : отчёт о НИР (заключительный) / МГТУ. Каф. "Электронные технологи в машиностроении"(МТ-11) ; рук. нир Панфилов Ю. В. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2002. - 58 л. - Библиогр.: л. 57-58. - Шифр 0501016. - Инв. № 02.20.0303268.

   Разработка методов исследования процессов, происходящих при разрушении сверхтвердых износостойких тонкопленочных покрытий : отчёт о НИР (промежуточный) / МГТУ. НИИ конструкционных материалов и технологических процессов ; рук. нир Панфилов Ю. В. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 37 л. - Библиогр.: л. 37. - Шифр 031001. - Инв. № 02.200.201655.

Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л.
   Нанесение тонких пленок в вакууме : метод. указания к ла. работам по курсам "Основы вакуумной технологии" и "Инженерный практикум" / Беликов А. И., Булыгина Е. В., Колесник Л. Л. ; ред. Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 83 с. : ил. - Библиогр. в конце работ. - ISBN 5-7038-1849-4.