Подробное описание документа
Статья
Носов Ю. Р.
На пути в наноэлектронику (Исторические параллели и сопоставления) / Носов Ю. Р., Сметанов А. Ю. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы