Подробное описание документа
Статья
Вавилов В. Д.
Математическая модель погрешностей и оборудование для статистических испытаний микросистемных акселерометров / Вавилов В. Д., Глазков О. Н. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. -
621.3.049.779 Другие микроэлектронные схемы