Подробное описание документа

Теплова Т. Б.
   Исследование возможности обработки хрупких твердых кристаллических материалов электронной техники в режиме квазипластичности для совершенствования качества обрабатываемой поверхности / Теплова Т. Б. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 45-47.

УДК

621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Статья опубликована в следующих изданиях