Подробное описание документа

Статья

Адамов Д. Ю., Матвеенко О. С.
Усовершенствование структур МОП-транзисторов в нанометровых технологиях / Адамов Д. Ю., Матвеенко О. С. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 53-63.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 53-63

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 2. - 2008.

подробнее