Подробное описание документа

   Статья

Адамов Д. Ю., Матвеенко О. С.
   Усовершенствование структур МОП-транзисторов в нанометровых технологиях / Адамов Д. Ю., Матвеенко О. С. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 53-63.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 53-63

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 2. - 2008.

подробнее