Подробное описание документа

Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
   Повышение устойчивости МЭМС-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. - С. 63-66.

УДК

531.781.2 Измерение механических напряжений и деформаций. Тензометры

Статья опубликована в следующих изданиях