Подробное описание документа
Статья
Белозубов Е. М.
Повышение устойчивости МЭМС-структур тонкопленочных датчиков к воздействию виброускорений и температур / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. -
531.781.2 Измерение механических напряжений и деформаций. Тензометры