Подробное описание документа
Статья
Козырев В. В.
Разработка мехатронных модулей с высокой разрешающей способностью для нанотехнологии / Козырев В. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 2. -
539.2 Свойства и структура молекулярных систем