Подробное описание документа

   Технология материалов микро- и наноэлектроники / Кожитов Л. В., Косушкин В. Г., Крапухин В. В., Пархоменко Ю. Н. ; Моск. гос. ин-т стали и сплавов (Технологический ун-т). - М. : МИСИС, 2007. - 542 с. : ил. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-87623-132-7.

Рассмотрены теоретические основы и математическое моделирование процесса роста монокристаллов полупроводников из расплава с использованием теории случайных явлений для управления процессом роста бездефектных кристаллов.
Представлены результаты математического моделирования равновесия фаз многокомпонентных систем, макро- и микрокинетики парофазной эпитаксии кремния и соединений А в третьей степени В в пятой степени в хлоридно-гидридном и МОС-гидридном процессах.
Рассмотрены актуальные для микроэлектроники технологии получения скрытых проводящих и диэлектрических слоев в кремнии,предложен механизм их фазообразования.
Показано,что развитие работ в области органических полупроводников, в том числе с фрактальными кластерами и наночастицами различных элементов в полимерах, позволяет получать материалы с особыми свойствами.
С использованием современных основ материаловедения рассмотрены пути сохранения и улучшения эксплуатационных свойств монокристаллического кремния путем его термообработки и легирования.
Проведен анализ результатов обработки большой группы материалов и слоев многоуровневых СБИС,на которых методом химико-механической полировки достигнута наноразмерная шероховатость поверхности без дефектов монокристаллической структуры.
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники, для всех работающих в области разработки новых материалов, оптимизации технологических процессов, а также студентов и аспирантов.

УДК

621.315.5+621.315.6

Предметные рубрики

• Электронные материалы

Общее кол-во в фондах

3 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

   Технология материалов микро- и наноэлектроники : [монография] / Кожитов Л. В., Емельянов С. Г., Косушкин В. Г. [и др.] ; Юго-Западный гос. ун-т. - 2-е изд., перераб. и испр. - Курск, 2012. - 860 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-7681-0760-4.

Кол-во в фондах 1 экз.

подробнее