Подробное описание документа

   Технология материалов микро- и наноэлектроники : [монография] / Кожитов Л. В., Емельянов С. Г., Косушкин В. Г. [и др.] ; Юго-Западный гос. ун-т. - 2-е изд., перераб. и испр. - Курск, 2012. - 860 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-7681-0760-4.

Приведены теоретические основы и математические модели процессов выращивания монокристаллов полупроводников из расплава.
Рассмотрены основы эпитаксиальноro роста пленок полупроводников и оборудование для их производства, а также процессы плазмохимических технологий и высокоэнергетичных воздействий получения материалов для электроники.
Изложены основные методы получения современных нанокомпозитных материалов на основе углерода, проанализированы основные модели процессов, определены перспективы развития технологий.
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области получения и исследования материалов микро- и наноэлектроники, а также может быть использована для подготовки специалистов по таким направлениям, как 210100 «Электроника и наноэлектроника», 152200 «Наноинженерия», 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника».

УДК

621.315.5+621.315.6

Предметные рубрики

• Электронные материалы

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л

Похожие издания

   Технология материалов микро- и наноэлектроники / Кожитов Л. В., Косушкин В. Г., Крапухин В. В., Пархоменко Ю. Н. ; Моск. гос. ин-т стали и сплавов (Технологический ун-т). - М. : МИСиС, 2007. - 542 с. : ил. - (Металлургия и материаловедение XXI века). - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-87623-132-7.

Кол-во в фондах 3 экз.

подробнее