Подробное описание документа
Татаренко Н. И.
Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе / Татаренко Н. И., Кравченко В. Ф. - М. : Физматлит, 2006. - 192 с. : ил. - Библиогр.:
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных авто электронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики.
Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов,специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
621.38-022.532 Наноэлектроника18 экз.
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345