Личный кабинет
Подробное описание документа
Татаренко, Н. И. Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе : учебное пособие / Н. И. Татаренко, В. Ф. Кравченко. — Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2006. — 192 с. — ISBN 5-9221-0695-3.
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники
Похожие издания
Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе / Татаренко Н. И., Кравченко В. Ф. - М. : Физматлит, 2006. - 192 с. : ил. - Библиогр.:
Читать онлайн
