Подробное описание документа
Статья
Гольцова М. М.
МЭМС: большие рынки малых устройств / Гольцова М. М., Юдинцев В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 4. -
621.3.049 Конструирование электрических цепей