Подробное описание документа

   Машиностроение : энциклопедия : в 40 т. / РАН ; гл. ред. Фролов К. В. - М. : Машиностроение, 1994. - ISBN 5-217-01949-2.
   Разд. III : Технология производства машин, т. III-8 : Технологии, оборудование и системы управления в электронном машиностроении / Панфилов Ю. В., Ковалев Л. К., Блохин В. Г. [и др.] ; отв. ред. Белянин П. Н. ; ред. пер., авт. вступ. ст. и коммент. Панфилов Ю. В. ; ред. тома Мартынов В. В., Панфилов Ю. В., Валеев А. С. [и др.]. - 2000. - 743 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 5-217-02825-4.

Показаны уникальные возможности воздействия на конструкционные материалы высокоэнергетических электронных и ионных пучков, низкотемпературной газоразрядной плазмы и точно дозированных молекулярных потоков. Обобщен отечественный и мировой опыт создания оборудования для производства изделий электронной техники и изложены принципы построения систем автоматического управления.Описаны методы и средства получения и поддержания сверхчистых технологических сред, атмосферы чистых производственных помещений. Систематизированы уникальные технологические процессы изготовления интегральных микросхем и печатных плат, электровакуумных и других приборов. Даны основные понятия, этапы и отражены тенденции развития мехатронных систем.

УДК

621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

Предметные рубрики

• Машиностроение - Энциклопедии
• Технические энциклопедии

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич
• Аршук Евгений Павлович

Общее кол-во в фондах

4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313