Подробное описание документа

   Статья

   Спектроскопия упругого отражения электронов как метод анализа элементного состава наноразмерных систем / Пронин В. П., Пономарев А. Н., Хинич И. И., Чистотин И. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 4. - С. 45-48.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 45-48

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 4. - 2008.

подробнее