Подробное описание документа

   Спектроскопия упругого отражения электронов как метод анализа элементного состава наноразмерных систем / Пронин В. П., Пономарев А. Н., Хинич И. И., Чистотин И. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 4. - С. 45-48.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях