Подробное описание документа

   Моделирование роста и легирования полупроводниковых плёнок методом Монте-Карло : монография / Александров Л. Н., Бочкова Р. В., Коган А. Н., Тихонова Н. П. ; Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред. Стенин С. И. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1991. - 165 с. : ил. - Библиогр.: с. 150-162. - ISBN 5-02-029696-1.

УДК

537.311.322 в полупроводниковых материалах

Предметные рубрики

• Полупроводниковые пленки - Получение
• Полупроводники - Методы исследования

Общее кол-во в фондах

2 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313