Подробное описание документа

   Металлизация ультрабольших интегральных схем : учеб. пособие для вузов / Громов Д. Г., Мочалов А. И., Сулимин А. Д., Шевяков В. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. - 277 с. : ил. - Библиогр.: с. 265-277. - ISBN 978-5-94774-904-5.

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов,специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

УДК

621.793:621.3.049.77

Предметные рубрики

• Интегральные схемы большие - Учебники и пособия
• Металлизация

Общее кол-во в фондах

4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

   Металлизация ультрабольших интегральных схем : учеб. пособие / Громов Д. Г., Мочалов А. И., Сулимин А. Д., Шевяков В. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 277 с. : ил. - Библиогр.: с. 265-277. - ISBN 978-5-94774-904-5.

Кол-во в фондах 1 экз.

подробнее