Подробное описание документа

   Металлизация ультрабольших интегральных схем : учеб. пособие / Громов Д. Г., Мочалов А. И., Сулимин А. Д., Шевяков В. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 277 с. : ил. - Библиогр.: с. 265-277. - ISBN 978-5-94774-904-5.

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

УДК

621.793:621.3.049.77

Предметные рубрики

• Интегральные схемы большие - Учебники и пособия
• Металлизация

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л

Похожие издания

   Металлизация ультрабольших интегральных схем : учеб. пособие для вузов / Громов Д. Г., Мочалов А. И., Сулимин А. Д., Шевяков В. И. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. - 277 с. : ил. - Библиогр.: с. 265-277. - ISBN 978-5-94774-904-5.

Кол-во в фондах 4 экз.

подробнее