Подробное описание документа

   Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Константинова Г. С., Лозовский В. Н., Лунин Л. С., Лозовский С. В. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр.: с. 110-111. - ISBN 978-5-903286-20-1.

Аннотация

Монография посвяящена изложению основ различных методов нанолитографии. Обсуждаются перспективы использования методов, области их предпочтительного применения и возможности использования в массовом производстве.
Книга предназначена тем специалистам, которые приобщаются к работе в сфере нанотехнологий и наноэлектроники,а также аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Монография опубликована за счет средств,выделенных по гранту Российского фонда фундаментальных исследований (проект № О7-08-02003 э_д).

УДК

539.2+621.3.049

Предметные рубрики

• Нанотехнологии
• Фотолитография

Общее кол-во в фондах

2 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313