Расширенный поиск

   Разработка технологии изготовления трехмерных объектов из фотополимерных композиций и литейных сплавов с использованием методов лазерной стереолитографии : отчёт о НИР (заключительный) / МГТУ. НИИ конструкционных материалов и технологических процессов ; рук. нир Васильев В. А. - М., 2002. - 69 л. - Библиогр.: л. 68-69. - Шифр ПП-11. - Инв. № 02.20.0301474.

Цветков Ю. Б.
   Управление топологической точностью фотолитографии : учеб. пособие по курсу "Элионные технологии" / Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005. - 174 с. : ил. - Библиогр.: с. 170-172.

Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б.
   Контактная фотолитография и травление тонкоплёночных структур : практикум / Боброва Ю. С., Цветков Ю. Б. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 43 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 38. - ISBN 978-5-7038-5369-6.

   Методы нанолитографии. Достижения и перспективы / Константинова Г. С., Лозовский В. Н., Лунин Л. С., Лозовский С. В. - Ростов-на-Дону : ТЕРРА-ПРИНТ, 2008. - 112 с. : ил. - Библиогр.: с. 110-111. - ISBN 978-5-903286-20-1.

Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б.
   Методы литографии в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 175 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 9). - Библиогр.: с. 171. - ISBN 978-5-7038-3500-5.

Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
   Физико-механические компоненты наносистем : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.: с. 178-179. - ISBN 978-5-7038-3499-2.

Бодров Е. Э.
   Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Бодров Е. Э. - Инфра-Инженерия, 2022. - ISBN 978-5-9729-0846-2.

Юрчук С. Ю.
   Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами : курс лекций / Юрчук С. Ю. - Издательский Дом МИСиС, 2013. - ISBN 978-5-87623-662-3.

Родионов Ю. А.
   Производство гибридных интегральных схем : учебное пособие / Родионов Ю. А. - Инфра-Инженерия, 2020. - ISBN 978-5-9729-0460-0.

Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П.
   Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей : учебное пособие для спо / Кручинин Д. Ю., Фарафонтова Е. П. ; ред. Дерябина В. А. - Профобразование, Уральский федеральный университет, 2019. - ISBN 978-5-4488-0454-0, 978-5-7996-2891-8.