Подробное описание документа

   Эллипсометрия - прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением / Швец В. А., Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Михайлов Н. Н. // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, т. 3-4. - С. 106-118.

УДК

535.39 Связь между отражением, преломлением и поглощением

Статья опубликована в следующих изданиях