Скачать документ
Полнотекстовый документ
Колесник Л. Л.
Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Колесник Л. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 16 с.
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них2 экз.