Расширенный поиск

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : автореф. дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИТМ. - М., 1995. - 32 с.

Одиноков В. В.
   Основы расчета параметров и создание автоматизированного многокамерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС : 05. 13. 07 : 05. 27. 07 : дис... дтн / Одиноков В. В. ; НИИ точн. машиностроения. - М., 1995. - 32 л. - Библиогр.: л. 30-32.

Шупенев А. Е.
   Разработка технологии создания высокоэффективных тонкопленочных термоэлектрических материалов методом импульсного лазерного осаждения : автореф. дис... ктн : 05. 02. 07 : 05. 27. 06 / Шупенев А. Е. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2017. - 16 с.

Шупенев А. Е.
   Разработка технологии создания высокоэффективных тонкопленочных термоэлектрических материалов методом импульсного лазерного осаждения : дис... ктн : 05. 02. 07 : 05. 27. 06 / Шупенев А. Е. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2017. - 131 л. : ил. - Библиогр.: л. 113-123.

Волчкевич И. Л.
   Исследование и разработка импульсно-динамических методов нанесения тонкопленочных покрытий : 05. 03. 01 : дис... ктн / Волчкевич И. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1994. - 163 л. - Библиогр.: л. 153-161.

Осипов А. В.
   Научное и технологическое обеспечение нанесения упрочняющих наноразмерных тонкопленочных покрытий для изделий электронной техники : 05. 27. 06 : автореф. дис... ктн / Осипов А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2004. - 16 с.

Осипов А. В.
   Научное и технологическое обеспечение нанесения упрочняющих наноразмерных тонкопленочных покрытий для изделий электронной техники : 05. 27. 06 : дис... ктн / Осипов А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2004. - 188 л. - Библиогр.: л. 178-185.

Волчкевич И. Л.
   Исследование и разработка импульсно-динамических методов нанесения тонкопленочных покрытий : 05. 03. 01 : автореф. дис... ктн / Волчкевич И. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1994. - 15 с.

Панькин Н. А.
   Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана : автореф. дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Панькин Н. А. ; Мордовский гос. ун-т им. Н. П. Огарева. - М., 2008. - 15 с.

Панькин Н. А.
   Влияние условий конденсации ионно-плазменного потока на структуру и свойства покрытий нитрида титана : дис... кф-мн : 01. 04. 07 / Панькин Н. А. ; Мордовский гос. ун-т им. Н. П. Огарева. - Саранск, 2008. - 118 л. - Библиогр.: л. 105-118.