Подробное описание документа
Диссертация
Колесник Л. Л.
Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера : дис... ктн : 05. 27. 06 / Колесник Л. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 143 л. : ил. - Библиогр.:
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л