Подробное описание документа

   Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии : учеб. пособие / Шашурин В. Д., Малышев К. В., Мешков С. А. [и др.] ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2009. - 42 с. : ил. - Библиогр.: с. 41.

Читать онлайн Аннотация

Настоящее издание соответствует учебной программе курса "Специальные технологические методы в нанотехнологии".
Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии для их применения в наноприборах радиоэлектронных систем.
Для студентов 6-го курса приборостроительных специальностей.

УДК

621.38-022.532 Наноэлектроника

Предметные рубрики

• Наноструктурные материалы - Учебники и пособия
• Полупроводниковые пленки - Получение

Авторы МГТУ

• Шашурин Василий Дмитриевич
• Малышев Константин Васильевич
• Мешков Сергей Анатольевич
• Скороходов Евгений Александрович
• Нарайкин Олег Степанович

Общее кол-во в фондах

18 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313