Подробное описание документа

Егоров В. В.
   Влияние микронеровностей поверхности на характеристики изображений в оптических прецизионных измерителях. Скалярное приближение. Часть 1. / Егоров В. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 3. - С. 36-44.

УДК

621.38.01

Статья опубликована в следующих изданиях