Подробное описание документа

Статья

Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р.
Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № 2. - С. 92-104.

УДК
621.794.4 Травление

Авторы МГТУ

Одиноков Сергей Борисович

Сагателян Гайк Рафаэлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 92-104

Журнал

Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение.
№ 2. - 2010.

подробнее