Расширенный поиск

   Влияние поверхностных оксидов на свойства сварных соединений при различных способах подготовки поверхностей и параметрах сварки давлением / Маркашова Л. И., Григоренко Г. М., Арсенюк В. В., Чубенко А. Н. // Сварочное производство. - 2006. - № 4. - С. 13-20.

   Возможности метода плазмохимического травления оптического стекла для создания функционального микрорельефа / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н., Попов В. В. // Контенант. - 2018. - Т. 17, № 3. - С. 75-79.

   Возможности плазмохимического травления стекла с применением высокочастотной диодной системы / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н., Ковалев М. С. // Контенант. - 2018. - Т. 17, № 1. - С. 67-70.

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. : ил. - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И.
   Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие для вузов / Галперин В. А., Данилкин Е. В., Мочалов А. И. ; ред. Тимошенков С. П. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2018. - 283 с. : ил. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7.

Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р.
   Технология изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов с функциональным микрорельефом поверхности методом плазмохимического травления / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № 2. - С. 92-104.