Подробное описание документа

Махуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
   Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами / Махуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 1. - С. 7-15.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях