Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 1. - 2010.

1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 2-7
   Статья
Беляева А. О., Солнцев В. А.
   Моделирование диффузионных процессов через барьерное покрытие в полупроводниковые ветви термоэлектрических модулей / Беляева А. О., Солнцев В. А.
с. 7-15
   Статья
Махуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
   Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами / Махуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
с. 15-20
   Статья
Егоров В. В.
   Вопросы моделирования многомерных нано- и микроструктур / Егоров В. В.
с. 21-24
   Статья
Тарнавский Г. А.
   Имплантация легирующих примесей в подложку кремния с непланарной поверхностью / Тарнавский Г. А.
с. 25-26
   Статья
Аверин И. А., Аношкин Ю. В., Печерская Р. М.
   Исследование поверхностей слоев резистивных структур на низкоразмерном уровне / Аверин И. А., Аношкин Ю. В., Печерская Р. М.
с. 27-34
   Статья
   Информационно-измерительные микросистемы для подвижных объектов / Распопов В. Я., Иванов Ю. В., Малютин Д. М., Алалуев Р. В., Погорелов М. Г., Шведов А. П., Лихошерст В. В., Товкач С. Е.
с. 35-41
   Статья
Боронахин А. М., Иванов П. А., Суров И. Л.
   Исследование погрешностей триады микромеханических гироскопов с использованием малогабаритного двухосного стенда / Боронахин А. М., Иванов П. А., Суров И. Л.
с. 42-45
   Статья
Пивоненков Б. И., Школьников В. М.
   Одно- и трехкомпонентные пьезорезистивные акселерометры с воздушным демпфированием / Пивоненков Б. И., Школьников В. М.
с. 46-48
   Статья
   Двухканальный емкостной преобразователь ускорений / Тимошенков С. П., Калугин В. В., Шалимов А. С., Анчутин С. А., Морозова Е. С.
с. 49-54
   Статья
Потапов А. А.
   Расчет прочности связи гомоядерных молекул, образуемых атомамм I группы таблицы Д. И. Менделеева / Потапов А. А.