Личный кабинет
Подробное описание документа
Статья
Тарнавский Г. А.
Имплантация легирующих примесей в подложку кремния с непланарной поверхностью / Тарнавский Г. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 1. -
519.2 Теория вероятностей и математическая статистика
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 21-24
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 1. - 2010.
№ 1. - 2010.
