Подробное описание документа

   Статья

Тарнавский Г. А.
   Имплантация легирующих примесей в подложку кремния с непланарной поверхностью / Тарнавский Г. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 1. - С. 21-24.

УДК

519.2 Теория вероятностей и математическая статистика

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 21-24

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 1. - 2010.

подробнее