Подробное описание документа
Статья
Аверин И. А.
Исследование поверхностей слоев резистивных структур на низкоразмерном уровне / Аверин И. А., Аношкин Ю. В., Печерская Р. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 1. -
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 25-26
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 1. - 2010.
№ 1. - 2010.