Подробное описание документа
Статья
Деформационно-прочностные свойства модифицированных полиимид-кремниевых упруго-шарнирных микроструктур / Бабаевский П. Г., Жуков А. А., Корпухин А. С., Резниченко Г. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 7. -
621.3.049 Конструирование электрических цепей