Подробное описание документа
                   Статья
            
        
               Деформационно-прочностные свойства модифицированных полиимид-кремниевых упруго-шарнирных микроструктур / Бабаевский П. Г., Жуков А. А., Корпухин А. С., Резниченко Г. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 7. - 
621.3.049 Конструирование электрических цепей
