Подробное описание документа

Драгунов В. П., Остертак Д. И.
   Электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Часть I. Расчет емкостей / Драгунов В. П., Остертак Д. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 7. - С. 37-41.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях