Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

   Системы реологического типа для микро- и нанопозиционирования и виброизоляции / Михайлов В. П., Базиненков А. М., Кузнецов А. С., Зобов И. К., Шаков К. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 7. - С. 45-50.

533.5 Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 45-50
   Журнал
   Нано- и микросистемная техника.
   № 7. - 2010.