Подробное описание документа

   Статья

   Системы реологического типа для микро- и нанопозиционирования и виброизоляции / Михайлов В. П., Базиненков А. М., Кузнецов А. С., Зобов И. К., Шаков К. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2010. - № 7. - С. 45-50.

УДК

533.5 Разреженные газы. Физика вакуума. Вакуумная техника

Авторы МГТУ

• Михайлов Валерий Павлович
• Базиненков Алексей Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 45-50

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 7. - 2010.

подробнее