Скачать документ
Электронная версия, предоставленная издательством
Нарайкин О. С.
Введение в микросистемную технику : учеб. пособие по курсу "Микросистемная техника" / Нарайкин О. С., Потловский К. Г., Холевин В. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 49 с. : ил. - Библиогр.
Микросистемная техника - активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям.
Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения.
Для студентов, изучающих курс "Микросистемная техника".
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы17 экз.