Подробное описание документа

Нарайкин, О. С. Введение в микросистемную технику : учебное пособие / О. С. Нарайкин, К. Г. Потловский, В. В. Холевин. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. — 49 с.

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/52229

Микросистемная техника – активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника»