Личный кабинет
Подробное описание документа
Нарайкин, О. С. Введение в микросистемную технику : учебное пособие / О. С. Нарайкин, К. Г. Потловский, В. В. Холевин. — Москва : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. — 49 с.
Микросистемная техника – активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника»
Похожие издания
Введение в микросистемную технику : учеб. пособие по курсу "Микросистемная техника" / Нарайкин О. С., Потловский К. Г., Холевин В. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 49 с. : ил. - Библиогр.
Читать онлайн
Введение в микросистемную технику / Нарайкин О. С., Потловский К. Г., Холевин В. В. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. -
