Подробное описание документа

Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П.
Физико-механические компоненты наносистем : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Панфилов Ю. В., Утенков В. М., Михайлов В. П. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 182 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 8). - Библиогр.: с. 178-179. - ISBN 978-5-7038-3499-2.

Читать онлайн

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/363836

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/106610

Аннотация

Методические материалы по дисциплине «Физико-механические компоненты наносистем» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.

УДК
621.3.049.77:539.2

Предметные рубрики

Фотолитография - Учебники и пособия

Нанотехнологии - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

Панфилов Юрий Васильевич

Утенков Владимир Михайлович

Михайлов Валерий Павлович

Общее кол-во в фондах
98 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Подробное описание документа

Похожие издания