Подробное описание документа

Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б.
Методы литографии в наноинженерии : учеб. -метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 175 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 9). - Библиогр.: с. 171. - ISBN 978-5-7038-3500-5.

Читать онлайн

Айбукс

Войти и читать

https://ibooks.ru/products/363837

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/106499

Аннотация

Методические материалы по дисциплине "Методы литографии в наноинженерии" содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине.
Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки "Нанотехнология" с профилем подготовки "Наноинженерия". Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.

УДК
621.3.049.77:539.2

Предметные рубрики

Фотолитография - Учебники и пособия

Нанотехнологии - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

Макарчук Владимир Васильевич

Цветков Юрий Борисович

Общее кол-во в фондах
99 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Похожие издания

Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б.
Методы литографии в наноинженерии / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 176 с. - ISBN 978-5-7038-3500-5.

Читать онлайн

Коллекция ЭБС «Айбукс»

подробнее

Макарчук, В. В. Наноинженения : учебное пособие : в 17 книгах / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков. — Москва : МГТУ им. Баумана, 2011 — Книга 9 : Методы литографии в наноинженерии — 2011. — 176 с. — ISBN 978-5-7038-3500-5.

Читать онлайн

Коллекция ЭБС «Лань»

подробнее