Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

Макарчук, В. В. Наноинженения : учебное пособие : в 17 книгах / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков. — Москва : МГТУ им. Баумана, 2011 — Книга 9 : Методы литографии в наноинженерии — 2011. — 176 с. — ISBN 978-5-7038-3500-5.

Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.

Похожие издания

Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б.
   Методы литографии в наноинженерии : учеб.-метод. комплекс по тем. направлению деятельности ННС "Наноинженерия" : учеб. пособие для вузов / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. ; ред. Шахнов В. А. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 175 с. : ил. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 9). - Библиогр.: с. 171. - ISBN 978-5-7038-3500-5.
99 экз.
Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б.
   Методы литографии в наноинженерии / Макарчук В. В., Родионов И. А., Цветков Ю. Б. - Москва : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. - 176 с. - ISBN 978-5-7038-3500-5.
ЭБС «Айбукс»