Подробное описание документа

Журнал

Измерительная техника.
№ 4. - 2012.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 18-21

Статья

Исследование метрологических характеристик измерительного сканирующего зондового микроскопа с применением калибровочных решеток типа TGZ / Гоголинский К. В., Губский К. Л., Кузнецов А. П., Решетов В. Н., Маслеников И. И., Голубев С. С., Лысенко В. Г., Румянцев С. И.

подробнее